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半導體FPD等領域
 
  • 熱處理成膜設備用軸承
    熱處理成膜設備采用的是在高溫環境下也可進行潤滑的特殊規格的軸承。
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  • EB電子束曝光設備用軸承
    由于 EB 電子束曝光設備使用的軸承在強磁場環境下工作安徽快三走势图安徽快三走势图,因此采用的是非磁性材質的陶瓷軸承。
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  • 蝕刻設備用軸承
    由于蝕刻設備用軸承在暴露于蝕刻液的狀態下工作,所以使用的是耐腐蝕性強的陶瓷材質軸承安徽快三走势图、及 采用了PTFE 涂層的軸承。
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  • 離子注入設備用軸承
    離子注入設備的真空室內采用的是捷太格特的高潔凈軸承,可避免因在真空中進行潤滑安徽快三走势图安徽快三走势图、受到磨損等而產生雜質。
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  • 濺鍍設備用軸承
    濺射設備的高溫、真空室內采用的是高溫 Clean Pro 規格的軸承。
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  • CMP設備用軸承
    由于 CMP 設備軸承在暴露于研削液的環境下工作,所以使用的是耐腐蝕性強的陶瓷材質軸承安徽快三走势图,及采用了 PTFE 涂層的軸承。
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  • 檢測設備用軸承
    檢測設備用軸承采用的是對檢查不造成影響的非磁性軸承。
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  • 晶片運送設備用軸承

    晶片運送設備要求具備粉塵排放量低安徽快三走势图、使用壽命長的特點。

    為滿足該用途,該裝置采用的是與 Clean Pro 規格的組合陶瓷直線導軌,以及薄壁式 K 系列的深溝球型組合陶瓷軸承。

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